美股動向 | 阿斯麥聯手荷蘭TNO建造6吋光子晶片試驗生產線

　　《經濟通通訊社24日專訊》阿斯麥(US.ASML)與荷蘭應用科學研究組織(TNO)宣布達成戰略合作，共同推動光子晶片的產業化與量產進程。雙方將依託TNO位於荷蘭高科技園區正在建設的光子晶片試驗生產線，展開深度的技術與製程合作。

　　根據合作協議，阿斯麥將分階段為該中試線提供深紫外光及I-Line光刻設備等核心製造技術支持。該項目投產後，將具備6吋晶圓規模的磷化銦光子晶片量產能力，廠區預計在2027至2028年間全面落成。屆時該廠房的年產能有望達1萬片晶圓，足以支撐數百萬顆先進光子晶片的製造與商業化需求。(kk)